半导体行业为什么离不开超纯水设备?半导体行业的发展程度是衡量一个国家科技发展水平的核心指标。发展半导体产业,必然少不了电子芯片的生产制造。制造芯片的过程十分复杂,关键的步骤是沉积、光刻胶涂覆、刻蚀、离子注入和封装。而这些步骤都离不开超纯水,因为芯片生产过程需要超纯水进行清洗。
芯片生产过程中需要用的工艺清洗用水,得用几近绝缘的水质,被称作超纯水,出水电阻率达到18Ω .cm左右。除电阻率,半导体生产用水对如微粒子、 TOC、溶解氧等指标也会有相应要求。那么指标要求这么高的超纯水是如何制备出来的呢?自然界中不存在超纯水,要制备这种超纯水,就需要将自然水通过合适工艺处理而成。
半导体超纯水设备并不只是一种固定工艺系统,而是很多水处理工艺模块的灵活组合~包括预处理过滤部分、RO反渗透技术、EDI连续电解除盐技术和抛光混床工艺等。
工艺流程主要包括:
水源进水 —— 原水储水箱 —— 多介质过滤器 —— 活性炭过滤器 —— 阻垢装置 —— 5 微米精密过 滤器 —— 双级反渗透纯水机组 —— 反渗透产水储水箱 —— EDI 超纯水制水 机组 —— 超纯水产水储水箱
(可根据行业生产要求,还会配置抛光混床,中间水箱等,根据客户需求来定制方案)
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